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导热油电加热器温度控制装置和四氯化硅氢化反应器应有冗余设计,宜使用两套控制仪器,并定期校验。氢化反应器及系统中的安全附件、安全保护装置、测量调控装置及有关附属仪器应完整、齐全、有效。

凡工艺上有放空的设备均应设放空装置,并定期检查其有效性。用于易燃、易爆气体放空的安全阀及放空管,应至少将其导出管高出建筑物屋脊1.0m以上,不应将导出管置于下水道等限制性空间,以免引起爆炸。放空管应选用金属材料,不应使用塑料管或橡皮管。其中释放压力大于等于0.1MPa的放空管线应采用不锈钢材料。放空管上应设有阻火器,应静电接地。管口上应有挡雨、阻雪的伞盖。